技術(shù)文章
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1)成像橢圓偏振儀和傳統(tǒng)橢圓偏振儀有什么區(qū)別橢圓偏振是一項(xiàng)測(cè)量薄膜厚度,折射率等參數(shù)的技術(shù),與傳統(tǒng)橢圓偏振儀相比,成像橢圓偏振有以下特點(diǎn):成像可以讓你看到樣品通過CCD相機(jī)你可以直接看到樣品圖片,這樣的圖片也可以展示橢偏對(duì)比度,讓你分析樣品的均勻性,對(duì)于非常薄的膜,只有橢圓偏振對(duì)比圖可以成像,常規(guī)光學(xué)顯微鏡無(wú)法做到這一點(diǎn)。定位的測(cè)量你可以看到你的樣品,所以你可以定位你想要測(cè)量的感興趣點(diǎn)區(qū)域。即使樣品需要成像,你也可以確保你在均一的地方測(cè)量。傳統(tǒng)橢圓偏振儀給出的是一個(gè)平均數(shù)字。...
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